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[칼럼] 나노 스케일의 더 작은 반도체 소자 제작을 위한 AS-ALD 기술 위치 확인

반도체 소자의 미세화로 트랜지스터 밀도는 크게 증가하게 되었고, 이를 통해 컴퓨터에서부터 스마트폰에 이르기까지 다양한 IT 제품의 성능을 향상시켜왔다. 이렇게 진화되는 미세화 과정에서 반도체 제조 기술은 더욱 정교한 증착과 패터닝 기술을 필요로 하고 있다. 하지만 기존 나노미터 수준의 반도체 소자 제조에서는 정확한 패턴 정렬이 어려워 미세화 공정 진화의 한계로 지적되어 왔다. 이를 대응하기 위해 반도체 업계는 영역 ‘자기 정렬 제작 방식(Self-aligned Fabrication)*’을 활용한 ‘영역 선택적 원자층 증착(Area-Selective Atomic Layer Deposition, 이하 AS-ALD)’라는 박막 증착 기술을 개발했다. 이 글에서는 AS-ALD의 공정 과정, 장점, 주안점 그리고 향후 과제에 대해 살펴보고자 한다. * 자기 정렬 제작 방식(Self-aligned Fabrication): 다양한 자기 정렬 방식 중 대표적인 사례로, 멀티 패터닝 기술을 들 수 있다. 기존 UV 파장으로는 만들 수 없는 작은 패턴을 만드는 패터닝 방식으로 스페이서(게이트 단자의 사면을 둘러싼 절연막[참고기사])와 하드 마스크(식각 시 마진 부족으로 인해 감광액(Photoresist)만으로는 하부층을 식각하기 어려워, 감광액(증착 전 사용하는 물질)을 사용한다. 이는 SADP(Self-Aligned Double Patterning)로 불리는 멀티 패터닝 형태를 통해 후속 단계에서 스페이서와 하드 마스크가 자체 정렬되어 패턴 수를 두 배로 늘리고, SAQP(Self-Aligned Quadruple Patterning)를 통해 패터닝을 한 번 더 수행하여 패턴 수를 네 배로 늘리는 과정을 거친다. 하략 https://news.skhynix.co.kr/post/as-ald-technology
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- 작성일2023-10-30
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[칼럼] 잔디도 자주 깎아야 뿌리 내리듯 철학 있는 리더는 그렇게 나온다 위치 확인

[김경일, 심리학과 교수] 이제 필자의 나이도 어느덧 50대 중반을 지나가고 있으니, 세상으로부터 오는 질문의 양상도 꽤 달라진다. 40대까지만 해도 거의 받지 못했던 질문이 하나 있다. 바로 '자기 철학이 있는 사람은 어떻게 가능한가?'다. 그동안의 수많은 강연, 세미나, 자문회 등을 돌아보면 다양한 분야에서 자기 철학이 있는 많은 분을 만날 수 있었다. 그 분야는 다양하기 그지없다. 정치, 경제 등 사회 전반에 걸친 영역부터 금융, 기술, 사업 등 특정 분야에 이르기까지 말이다. 이런 분들은 나이와 상관없이 자신의 경험에 기초해 흔들리지 않는 하나의 뿌리 깊은 나무처럼 생각하고 행동한다. 반면 자기 철학이 없는 사람은 나이가 들면서 크게 두 가지 형태로 나뉘는 것 같다. 첫째는 아집과 고집으로 점철된 사람이다. 이런 사람들에게서는 자기 철학이 있는 사람들이 보여주는 원칙을 고수하면서도 상황에 맞는 적절한 판단을 내리는 균형 잡힌 모습을 찾아볼 수 없다. (하략) https://www.mk.co.kr/news/business/10858253
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- 작성일2023-10-26
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[칼럼] 너 T야?…성격과 대학생활 위치 확인

[김영아, 인권센터 학생상담소 책임상담원] 최근 성격과 관련된 심리검사에 관심이 높아지면서 “MBTI 뭐야?”, “너 T야?” 등 성격유형을 바탕으로 서로를 확인하고 구분하는 놀이가 유행이다. 방송에서도 각종 심리검사로 사람들의 성격이나 특성을 분석해서 보여주는 일이 많고 이제는 자기소개에 성격유형을 밝히거나 작성하는 일도 흔해졌다. 자신과 다른 사람들을 잘 이해하는 도구로 성격검사가 활용된다면 꽤 좋을 일이지만 지나친 구분짓기나 맹신, 비판 등으로 사용한다면 성격검사를 하는 의미가 없어지는 일이다. 같은 성격유형으로 분류된 사람들이라 할지라도 또 다른 성격적 특성, 삶의 경험, 자라온 환경 등으로 각자의 고유한 특성을 가지고 있다. 성격을 측정하는 심리검사는 매우 다양하다. 자신의 성격이 궁금하다면, 한 가지 심리검사로 자신을 판단하기보다 최소 2가지 이상의 심리검사를 통해 기질, 성격 강점, 성격 유형 등 자신의 고유하고 다양한 영역을 종합적으로 측정해보는 것이 훨씬 도움이 된다. 대학생들은 대학 내 상담센터를 이용하면 보다 정확하고 표준화된 심리검사를 무료로 이용해볼 수 있다. 또한 최소 5명 정도의 사람들에게 자신이 어떤 특성이 있는 사람으로 보이는지 직접 물어보고, 스스로 생각하는 자신의 모습과 다른 사람에게 피드백 받은 나의 모습을 비교해보는 것도 매우 좋다. (하략) https://news.unn.net/news/articleView.html?idxno=553962
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- 작성일2023-10-23
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[칼럼] 모빌리티 혁신 앞당길 자율주행 시범운행지구 위치 확인

[윤일수, AI모빌리티공학과 교수] 율주행 기반 서비스를 누리기 위해서는 실질적으로 기술적·제도적 발전과 사회적 준비가 필요하여 시간이 더 소요될 것으로 보인다. 자율주행 자동차는 사회적으로 큰 변화를 초래할 것으로 예상되지만, 자율주행 서비스를 사용할 일반 시민들은 TV와 같은 미디어 매체를 통해서만 자율주행 서비스를 접할 수밖에 없다. 이에 따라 우리나라에서는 자율주행 개발자들에게 실제 도로에서 기술을 점검할 기회를 제공하고, 일반 시민들이 자율주행 서비스를 경험할 수 있도록 ‘자율주행 시범운행지구’라는 제도를 운용하고 있다. 자율주행 시범운행지구는 ‘자율주행 자동차 상용화 촉진 및 지원에 관한 법률’에 따라 국토교통부가 시행하는 사업으로, 다섯 가지 특례(여객 유상운송, 화물 유상운송, 자동차 안전기준, 도로, ITS)를 부여한다. 즉, 시범운행지구에서는 자율주행 자동차를 통해 여객 및 화물을 유상 운송할 수 있고, 자동차 안전기준을 일부 미충족하더라도 자동차를 운행할 수 있으며, 자율주행에 필요한 경우 도로관리청이 아닌 자도 도로 시설 등을 유지·관리할 수 있다. 또한, 전문기관은 자율주행 시범운행지구의 효과적인 운영을 위하여 평가지표 등을 지속해서 개선하고 있다. (하략) https://www.joongang.co.kr/article/25201354#home
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- 작성일2023-10-23
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[칼럼] 결미통중의 전략을 추진하자 위치 확인

[김흥규, 정치외교학과 교수 / 미중정책연구소장] 심상찮다. 국제정치에서 전쟁의 띠가 확산되고 있다. 그 띠가 종국에는 한반도까지 확산될 우려가 크다. 한반도는 지정학적으로 대륙과 해양세력이 충돌하는 곳이었다. 중간지대 혹은 파쇄지대인 것이다. 지정학 전략의 대가 브레진스키는 세계에서 가장 취약한 5대 지역 중 하나로 한반도를 꼽았다. 실제 역사적으로 한반도는 역내 세력 변동시기마다 전쟁과 수난에서 벗어난 예를 찾기 어렵다. 한국전쟁 역시 냉전으로 인한 유럽에서의 세력충돌이 귀결된 것이다. 대한민국이 국제정세에 기민하고, 외교적 역량을 강화하고, 자강의 투철한 의식을 지녀야 하는 이유다. 현재의 한국은 이를 잊고 사는 것 같다. 우크라이나-러시아 전쟁, 니제르 등 아프리카에서의 연이은 쿠데타, 이스라엘-하마스 전쟁은 단절된 사안이 아니다. 미국 패권에 입각한 국제질서 붕괴와 혼돈의 시대가 시작되었음을 상징한다. 국제정치 용어로는 다극화시대가 급격히 진행 중이다. 준비가 안 되고, 과거 향수에 머물고 있는 우리에게는 지옥의 문이 열리고 있는지도 모른다. 평화의 힘은 급격히 약화되고 갈등과 충돌의 족쇄는 풀렸다. (하략) https://www.khan.co.kr/opinion/column/article/202310192023015
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- 작성일2023-10-20
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